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应市场的需求,深圳好风推出了HF403高精度真空计控制器。HF403可与各种 INFICON(英福康) ,Leybold(莱宝) 主动真空计兼容(适用型号见下面表格1),能够监测 10⁻¹⁰ 至 1500 mbar(10⁻¹⁰ 至 1125 Torr)的完整压力范围和设定点。该控制器内部设计高可靠性隔离电源,可以稳定给各真空计供电。高精度数据处理模块可以将真空计的微小信号显示并传输给PLC,供工艺控制。可以广泛用在真空镀膜、半导体生产制造等行业。
适用真空计型号:
测量原理 | INFICON(英福康) 型号 | Leybold (莱宝)型号 | |
Pirani Gauges | PSG500, PSG502 | = | TTR 91 / TTR 96 |
Pirani Gauges advanced | PSG550 / PSG552 / PSG554 | = | TTR 911 / TTR 916 |
Pirani Capacitive Diaphragm Gauges | PCG550 / PCG552 / PCG554 | = | TTR 101 |
Bayard Alpert Hot Ion Pirani Gauges | BPG400 / BPG402 | = | ITR 90 / ITR 200 |
Penning Gauges | PEG100 | = | PTR 225 / PTR 237 |
Cold Cathode Gauges | MPG400 / MPG500 | = | PTR 90 |
Ambient Capacitive Gauges | = | CTR 100 | |
45°C Capacitive Gauges | = | CTR 101 |
(除上述外,还可据客户要求定制)
更多详情,参见:产品中心>>>真空计转换单元